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功能(néng)性緩沖包材 化(huà)學過濾器(qì)
化(huà)學過濾器(qì)作(zuò)為(wèi)具有(yǒu)高(gāo)生(shēng)産環境要(yào)求的(de£)潔淨室工(gōng)程的(de)重要(yào)組成部分(fēn),主要(yào)用(yòng)于吸附、過濾空(kōng)氣中的(de)氣态分(fēn)子(zǐ)級污染物(wù)(¥Airborne Molecular Contamination)。目前主要(yào)應用(yòng)于泛半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)的(de)空(kōng)氣淨化(huà​)系統中,包括集成電(diàn)路(lù)、AMOLED顯示面闆的(de)潔淨車(chē)間(jiān)以及半導體(tǐ)生(shēng)産工(gōng)藝設備內(nèi)的(de)空(kōng)σ氣淨化(huà)等場(chǎng)景。