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化(huà)學過濾器(qì)
化(huà)學過濾器(qì)作(zuò)為(wèi)具有(yǒu)高(gāo)生(shēng)産環境要(yào)求的(de£)潔淨室工(gōng)程的(de)重要(yào)組成部分(fēn),主要(yào)用(yòng)于吸附、過濾空(kōng)氣中的(de)氣态分(fēn)子(zǐ)級污染物(wù)(¥Airborne Molecular Contamination)。目前主要(yào)應用(yòng)于泛半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)的(de)空(kōng)氣淨化(huà)系統中,包括集成電(diàn)路(lù)、AMOLED顯示面闆的(de)潔淨車(chē)間(jiān)以及半導體(tǐ)生(shēng)産工(gōng)藝設備內(nèi)的(de)空(kōng)σ氣淨化(huà)等場(chǎng)景。
除酸型化(huà)學過濾器(qì)
本産品結構為(wèi)闆式折疊型過濾器(qì),濾料選用(yòng)進口浸漬活性炭,對(duì)酸性氣體(tǐ):如(rú)硫化(huà)氫(H2S)、硫及氮的(de)氧化(hu∞à)物(wù)(SO X、N O X)、氯氣(C l2)、氟化(huà)氫(H F)等有(yǒu)高(gāo)效去(qù)除能(néng)力。
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除有(yǒu)機(jī)型化(huà)學過濾器(qì)
本産品結構為(wèi)闆式折疊型過濾器(qì),濾料選用(yòng)進口活性炭,對(duì)揮發性有(yǒu)機(jī)化(huà)合物(wù)TVOC±:苯、甲苯、對(duì)二甲苯、間(jiān)二甲苯、鄰二甲苯、苯乙烯、乙苯、乙酸丁酯)溶劑性氣體(tǐ)異味等有(yǒu)高(gāo)效吸附能(néng)力。
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除堿型化(huà)學過濾器(qì)
本産品結構為(wèi)闆式折疊型過濾器(qì),濾料選用(yòng)離(lí)子(zǐ)樹(shù)脂,對(duì)堿性氣體→(tǐ):NH3(氨氣)、PH3(磷化(huà)氫)、N2H4(聯氨)等有(yǒu)高(gāo)效去(qù)除能(néng)力。
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